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微机械

见微知著，精确感知。微机械器件是具有三维特征和复杂特征的微型机械结构装置，尺寸以微米为单位，微传感器是其中重要的前端部分，可用于检测各种物理量。随着机械工程、电子工程、材料科学等学科的综合发展，加之微纳3D打印技术的日趋完善，有助于科研人员在微机械领域获得更多的突破性研究进展。

应用案例

CA-100A(氧化铝)微齿轮

  • 10 μm

    光学精度

  • 130 μm

    尖端

  • 90 μm

    间距

CA-100A(氧化铝)微齿轮

PμSL技术支持CA-100A(氧化铝)陶瓷浆料打印，用于加工高精密陶瓷样件，齿轮尖端130 μm，齿轮间距90μm

  • 10 μm

    光学精度

  • 130 μm

    尖端

  • 90 μm

    间距

3D蝴蝶结结构阵列

  • 2 μm

    光学精度

  • 40 μm

    特征尺寸

3D蝴蝶结结构阵列

整体尺寸5 x 5 x 0.5mm³，可覆盖外尔半金属薄膜，得到高灵敏度、有效探测面积大的太赫兹波探测器

  • 2 μm

    光学精度

  • 40 μm

    特征尺寸

微穹顶分级结构

  • 2 μm

    光学精度

  • 28 μm

    最小直径

微穹顶分级结构

单个穹顶宽290μm，高480μm；次级微柱直径28μm，高70μm；通过打印微穹顶分级结构模具，结合翻模可制备柔性压力传感器

  • 2 μm

    光学精度

  • 28 μm

    最小直径

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